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Purelyst PFC-101 产品中心 > 催化剂
PFCs分解催化剂 |
用途
| 脱除气体 | PFCsa气体 (CF4, C2F6, C3F8, NF3, SF6等) |
|---|---|
| 특징 | 性能耐久温度能达850oC 在高浓度HF、SO2环境下、其催化剂性能仍旧维持不变。 不排放CO 可按丸状物、3H形态变更规格 |
| 适用领域 | 半导体、显示屏工艺等 |
a : 全氟化合物(含全氟碳)
规格
| 产品名称 | Purelyst PFC-101 | |
|---|---|---|
| 形态 | 丸状物 | 3H形态丸状物 |
| 直径a (mm) | 3 | 3 |
| 长度a (mm) | 5~15 | 5~15 |
| 堆积密度a (g/cm3) | 0.85 | 0.80 |
| 颜色 | 象牙白 | 象牙白 |
a : 可变更
