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催化剂
Purelyst PFC-101
产品中心 > 催化剂
PFCs分解催化剂
用途
用途
脱除气体
PFCs
a
气体 (CF
4
, C
2
F
6
, C
3
F
8
, NF
3
, SF
6
等)
특징
性能耐久温度能达850
o
C
在高浓度HF、SO
2
环境下、其催化剂性能仍旧维持不变。
不排放CO
可按丸状物、3H形态变更规格
适用领域
半导体、显示屏工艺等
a : 全氟化合物(含全氟碳)
规格
规格
产品名称
Purelyst PFC-101
形态
丸状物
3H形态丸状物
直径
a
(mm)
3
3
长度
a
(mm)
5~15
5~15
堆积密度
a
(g/cm
3
)
0.85
0.80
颜色
象牙白
象牙白
a : 可变更