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Purelyst PFC-101

Purelyst PFC-101

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PFCs分解催化剂

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用途

用途
脱除气体 PFCsa气体 (CF4, C2F6, C3F8, NF3, SF6等)
특징 性能耐久温度能达850oC
在高浓度HF、SO2环境下、其催化剂性能仍旧维持不变。
不排放CO
可按丸状物、3H形态变更规格
适用领域 半导体、显示屏工艺等

a : 全氟化合物(含全氟碳)

规格

规格
产品名称 Purelyst PFC-101
形态 丸状物 3H形态丸状物
直径a (mm) 3 3
长度a (mm) 5~15 5~15
堆积密度a (g/cm3) 0.85 0.80
颜色 象牙白 象牙白

a : 可变更