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酸性气体、硅烷、膦脱除试验设备

酸性气体、硅烷、膦脱除试验设备

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酸性气体、硅烷、膦脱除试验

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项目

内容

装置

有毒气体脱除试验设备

气体

通过MFC进行控制

温度

常温~300 oC

湿度

利用蒸发器调节

气体检测管

Cl2, HCl, HF, PH3, SiH4