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酸性气体、硅烷、膦脱除试验设备
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酸性气体、硅烷、膦脱除试验
项目
内容
装置
有毒气体脱除试验设备
气体
通过MFC进行控制
温度
常温~300 oC
湿度
利用蒸发器调节
气体检测管
Cl2, HCl, HF, PH3, SiH4等
