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촉매
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Purelyst PFC-101 제품 > 촉매
PFCs 분해촉매 |
용도
| 제거가스 | PFCsa 가스 (CF4, C2F6, C3F8, NF3, SF6 등) |
|---|---|
| 특징 | 850 oC까지 내구성 보유 고농도의 HF, SO2의 존재시에도 촉매의 성능이 변하지 않음 CO가 배출되지 않음 펠렛, 3H 형태의 사양 변경 가능 |
| 적용 분야 | 반도체, 디스플레이공정 등 |
a : 과불화화합물 [perfluorocompounds. 과불화탄소 (perfluorocarbons) 포함]
규격
| 제품명 | Purelyst PFC-101 | |
|---|---|---|
| 형태 | 펠렛 | 3H 형태 펠렛 |
| 직경a (mm) | 3 | 3 |
| 길이a (mm) | 5~15 | 5~15 |
| 충전밀도a (g/cm3) | 0.85 | 0.80 |
| 색상 | 아이보리 | 아이보리 |
a : 변경 가능
