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촉매

Purelyst PFC-101

Purelyst PFC-101

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PFCs 분해촉매

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용도

용도
제거가스 PFCsa 가스 (CF4, C2F6, C3F8, NF3, SF6 등)
특징 850 oC까지 내구성 보유
고농도의 HF, SO2의 존재시에도 촉매의 성능이 변하지 않음
CO가 배출되지 않음
펠렛, 3H 형태의 사양 변경 가능
적용 분야 반도체, 디스플레이공정 등

a : 과불화화합물 [perfluorocompounds. 과불화탄소 (perfluorocarbons) 포함]

규격

규격
제품명 Purelyst PFC-101
형태 펠렛 3H 형태 펠렛
직경a (mm) 3 3
길이a (mm) 5~15 5~15
충전밀도a (g/cm3) 0.85 0.80
색상 아이보리 아이보리

a : 변경 가능

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