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Puresorb AA-101, 102 제품 > 흡착제 > 유독가스 흡착제
산성가스 (Cl2, Br2, F2, HBr, HCl, HF 등) 흡착제 |
용도
| 제거대상 | BCl3, Cl2, F2, HBr, HCl, HF 등 (불산가스, 불화가스, 산성가스, 염산가스, 염화가스) |
|---|---|
| 특징 | Puresorb AA-102 : 최고의 HCl 제거용량 안정된 흡착 능력 복합가스에 대하여 동시 파과 흡착 반응 분석 기술 보유 다양한 현장 경험 및 설계 필요에 따라 구형, 펠렛, 3H 형태 적용 가능 |
| 적용분야 | 반도체, 디스플레이공정 등 |
규격
| 제품 | 형태/크기 (직경/길이, mm) |
충전밀도 (g/cm3) |
압축강도 (N/시료) |
가스 | 제거용량 (L/L) |
|---|---|---|---|---|---|
| Puresorb AA-101 | 3.0, 5.0±0.2/3~1 | 0.75~0.95 | > 20 | HF | 120 |
| 3.0±0.2/3~15 | Cl2 | 50 | |||
| Puresorb AA-102 | 펠렛/1.5, 3.0, 5.0±0.2/3~15 3H 형태 펠렛/ 1.5, 3.0, 5.0±0.2/3~15 |
1. 0.9~1.12. 0.75~0.95 |
> 20 | HF | 150 |
| HCl | 180 | ||||
| HBr | 90 | ||||
| BCl3 | 60 | ||||
| Cl2 | 70 | ||||
| F2 | 50 |
