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흡착제
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Puresorb TA-201, 202 제품 > 흡착제 > 유독가스 흡착제
SiH4 흡착제 |
용도
| 적용분야 | 반도체, 디스플레이, 태양전지, 가스회사 등 |
|---|---|
| 제거대상 | SiH2Cl2, SiH4 등 |
| 특징 | 안정적이고 높은 흡착 성능 다양한 현장 경험 및 설계 안정된 흡착 능력 필요에 따라 구형, 펠렛 등의 다양한 형태 적용 가능 |
규격
| 제품 | 형태/크기 (직경/길이, mm) |
충전밀도(g/cm3) | 압축강도 (N) | 가스 | 제거용량 (L/L) | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Puresorb TA-201 | 3~5 구형 | 0.8~1.0 | >20 | SiH4 | 15 | |
| Puresorb TA-202 | 3.0±0.2/3~15 | 0.6~0.8 | >15 | SiH4 | 30 |
