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Puresorb PFC-100 제품 > 흡착제 > 유독가스 흡착제
PFCs 제거 고온반응제 |
용도
| 제거가스 | PFCsa 가스 (CF4, C2F6, C3F8, NF3, SF6 등) |
|---|---|
| 특징 | PFCs와 벌크반응하여 98% 이상 제거 후단으로 불소화합물, NOx 및 SOx가 배출되지 않음 열적으로 안정함 |
| 적용 분야 | 반도체, 디스플레이공정 등 |
a : 과불화화합물 [perfluorocompounds. 과불화탄소 (perfluorocarbons) 포함]
규격
| 제품명 | Puresorb PFC-100 |
|---|---|
| 형태 | 펠렛 |
| 직경 (mm) | 3 |
| 길이 (mm) | 5~15 |
| 충전밀도 (g/cm3) | 1.40±0.10 |
| 색상 | 회색 |
| PFCs 제거용량 (L/L) | 50 이상 |
운전조건
| 가스 | 운전온도 (oC) | 반응 메카니즘 |
|---|---|---|
| CF4 | ≥ 550 | CF4 + M → MFx + CO2 |
| NF3 | ≥ 350 | NF3 + M → MFx + N2 |
| SF6 | ≥ 550 | SF6 + M → MxFy + M1-xSz |
* M : Puresorb PFC-100
