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Puresorb PFC-100

Puresorb PFC-100

제품 > 흡착제 > 유독가스 흡착제

PFCs 제거 고온반응제

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용도

용도
제거가스 PFCsa 가스 (CF4, C2F6, C3F8, NF3, SF6 등)
특징 PFCs와 벌크반응하여 98% 이상 제거
후단으로 불소화합물, NOx 및 SOx가 배출되지 않음
열적으로 안정함
적용 분야 반도체, 디스플레이공정 등

a : 과불화화합물 [perfluorocompounds. 과불화탄소 (perfluorocarbons) 포함]

규격

규격
제품명 Puresorb PFC-100
형태 펠렛
직경 (mm) 3
길이 (mm) 5~15
충전밀도 (g/cm3) 1.40±0.10
색상 회색
PFCs 제거용량 (L/L) 50 이상

 

운전조건

운전조건
가스 운전온도 (oC) 반응 메카니즘
CF4 ≥ 550 CF4 + M → MFx + CO2
NF3 ≥ 350 NF3 + M → MFx + N2
SF6 ≥ 550 SF6 + M → MxFy + M1-xSz


* M : Puresorb PFC-100