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촉매 산강도분석

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항목

내용

분석기

Prisma QMS 200 (Pfeiffer Vacuum)

터보펌프

TMU 071 P

TPD 가스

NH3, PGMEA

측정범위

200 AMU

기타

Turnover number 계산

TPO/TPR/TP-Reaction 가능