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산성가스, 실란, 포스핀 제거 실험장치

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산성가스, 실란, 포스핀 제거 실험

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항목

내용

장비

유독가스 제거실험장비

가스

가스를 MFC로 제어

온도

RT~300 oC

습도

증발기로 조정

검지관

Cl2, HCl, HF, PH3, SiH4 등