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흡착제 시험장비
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산성가스, 실란, 포스핀 등 제거 실험
항목
내용
장비
유독가스 제거실험장비
가스
가스를 MFC로 제어
온도
RT~300 oC
습도
증발기로 조정
검지관
BCl3, Cl2, HCl, HF, PH3, SiH4 등
