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PFCs 분해실험장비

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PFCs 분해 또는 반응실험

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항목 내용

장비

PFCs 분해실험장비

용도

PFCs 분해촉매, PFCs 반응제 평가

가스

CF4, SF6를 MFC로 제어

온도

최대 900 oC

수분

정량펌프로 주입

분석

GC-TCD (6890, Agilent)

 

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