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PFCs 분해실험장비
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PFCs 분해 또는 반응실험
장비
용도
PFCs 분해촉매, PFCs 반응제 평가
가스
CF4, SF6를 MFC로 제어
온도
최대 900 oC
수분
정량펌프로 주입
분석
