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O3 분해실험장비
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저온 O3 분해실험
항목
내용
장비
O3
O3 발생기로 발생시켜 MFC로 제어
온도
5 oC~40 oC
습도
증발기로 조정
분석기
0~1.000 ppm [KN-410, (주)켄텍]