주메뉴 바로가기 본문 바로가기

제품

Purelyst® PFC-101, 201

개요

Purelyst® PFC-101, 201 온실가스, 제휴 시간(년), 지구온난화지수(GWP)에 관련된 표입니다.
온실가스 대기 체류 시간(년) 지구온난화지수(GWP-100)
이산화탄소(CO2) - 1
메탄(CH4) 11.8 29.8
아산화질소(N2O) 109 273
사불화탄소(CF4) 50,000 7,380
삼불화질소(NF3) 569 17,400
육불화황(SF6) 3,200 25,200

N2O 그리고 CF4, NF3, SF6와 같은 불소를 포함한 과불화화합물 (PFCs)의 경우 산업공정에서 배출량이 적으나, 지구온난화에 기여하는 바가 매우 크기 때문에 공정에서 배출되는 가스 제거 필요

용도

Purelyst® PFC-101, 201 제품명, 제거대상, 반응메커니즘, 특징, 적용분야에 관련된 표
제품명 Purelyst® PFC-101, 201
제거방식
  • N2O, PFCs (CF4, NF3, SF6 등)
반응메커니즘
  • 2N2O + Catalyst* ▶ 2N2 + O2
  • CF4 + 2H2O + Catalyst* ▶ CO2 + 4HF
  • NF3 + H2O + Catalyst* ▶ a NO, b N2O, c NO2 + n HF
  • SF6 + 3H2O + Catalyst* ▶ SO2 + 6HF
특징
  • 850℃까지 열적 내구성 보유
  • 고농도의 HF, SO2 의 존재시에도 촉매 성능 유지
  • HF 외 F화합물 부생성물 발생 최소화
  • 트라이로브, 펠렛 등의 형태로 성형
적용분야
  • 반도체 공정
  • 디스플레이 공정
  • 태양전지 공정

벌크 및 허니컴 형태 제품 규격

Purelyst® PFC-101, 201 제품 명, 제거대상, 반응메커니즘, 특징, 적용분야에 관련된 표
제품명 Purelyst® PFC-101, 201
형태 Honeycomb briquette, Pellet, Trilobe
충전밀도(g/cm3) 0.70±0.10
압축강도(N)특징 > 30
BET(m2/g) > 150
충전밀도(g/cm3) 3 이하

성능평가 결과

Categories, Condition, Unit 에 관련된 표
Categories Condition Unit
Type of catalyst Purelyst PFC-101, Trilobe, 11 mm -
GHSV 1,600 h-1
Linear velocity 0.044 m/sec
Voulme of catalyst 90 cm3
Reaction temperature 500~800 ℃
Total flow rate 2,400 cm3/min
Concentration of CF4 2,000 ppm
Concentration of O2 2 %
H2O/CF4 molar ratio 25 -
Categories, Condition, Unit 에 관련된 표
Categories Condition Unit
Type of catalyst Purelyst PFC-101, granule, 10~16 mesh -
GHSV 1,600 h-1
Voulme of catalyst 39.2 cm3
Reaction temperature 750 ℃
Total flow rate 1,176 cm3/min
Concentration of CF4 6,040 ppm
Concentration of O2 21 %
H2O/CF4 molar ratio 25 -


Categories, Condition, Unit 에 관련된 표
Categories Condition Unit
Type of catalysts Trilobe, 11 mm -
GHSV 1,600 h-1
Voulme of catalyst 90 cm3
Reaction temperature 750 ℃
Total flow rate 2,400 cm3/min
Concentration of CF4 7,000 ppm
Concentration of N2O 1.8 %
H2O/CF4 molar ratio 25 -
Air Balance -

제품 사진

  • Pellet type
  • Trilobe type
  • Honeycomb briquette type
목록으로