Puresorb® TA-201 ~ 202
용도
제품명 | Puresorb® TA-201, 202 |
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제거대상 |
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특징 |
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적용분야 |
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제품 규격
제품 | TA-201 | TA-202 |
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제품 설명 | 적당한 강도, 비교적 낮은 충전밀도 | 높은 강도, 높은 충전밀도 |
적용분야 | SiH4, BF3, PH3, PF3 | SiH4, BF3, PH3, PF3 |
충전밀도(g/cm3) | 0.6 ~ 0.8 | 0.8 ~ 1.0 |
압축강도(N) | 15 이상 | 25 이상 |
크기 및 형태 | 3mm or 5mm Pellet | 3mm or 5mm Pellet |
함수율(wt. %) | 2 이하 | 2 이하 |