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Puresorb® TA-201 ~ 202

용도

Puresorb® TA-201 ~ 202 제품명, 제거대상, 특징, 적용분야에 완련된 표
제품명 Puresorb® TA-201, 202
제거대상
  • 산화반응을 통한 치환흡착
  • SiH4, BF3, PH3, PF3 등 인화성 또는 가연성 가스에 적용 가능
특징
  • 안정적이고 높은 흡착 성능
  • 다양한 현장 경험 및 설계
  • 필요에 따라 구형, 펠렛 등 다양한 형태 적용 가능
적용분야
  • 반도체, 디스플레이, 태양전지, 가스회사 등

제품 규격

Puresorb® AA-101 ~ 104 형태/크기(직경/길이, mm),충전밀도(g/cm3), 압축강도(N/시료), 적용가능 가스 관련된 표
제품 TA-201 TA-202
제품 설명 적당한 강도, 비교적 낮은 충전밀도 높은 강도, 높은 충전밀도
적용분야 SiH4, BF3, PH3, PF3 SiH4, BF3, PH3, PF3
충전밀도(g/cm3) 0.6 ~ 0.8 0.8 ~ 1.0
압축강도(N) 15 이상 25 이상
크기 및 형태 3mm or 5mm Pellet 3mm or 5mm Pellet
함수율(wt. %) 2 이하 2 이하

시험성적서

제품 사진