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제품

Purelyst® PFC-101

개요

Purelyst® PFC-101 온실가스, 제휴 시간(년), 지구온난화지수(GWP)에 관련된 표입니다.
온실가스 체류 시간(년) 지구온난화지수(GWP)
이산화탄소(CO2) 100~300 1
메탄(CH4) 12 25
아산화질소(N2O) 114 298
육불화황(SF6) 3,200 22,800
수소불화탄소(HFCs) 4.9 ~ 270 675 ~ 14,800
과불화탄소(PFCs) 10,000 ~ 50,000 7,390 ~ 12,200

NF3, CF4, SF6 등과 같은 불소를 포함한 과불화화합물의 경우 산업공정에서 배출량이 적으나, 지구온난화에 기여하는 바가 매우 크기 때문에 공정에서 배출되는 가스 제거 필요

용도

Purelyst® PFC-101 제품명, 제거대상, 반응메커니즘, 특징, 적용분야에 관련된 표
제품명 Purelyst® PFC-101
제거방식
  • NF3, CF4, SF6와 같은 과불화화합물
반응메커니즘
  • CF4 + 2H2O + Catalyst* ▶ CO2 + 4HF
  • SF6 + 3H2O + Catalyst* ▶ SO2 + 6HF
  • NF3 + H2O + Catalyst* ▶ a NO, b N2O, c NO2 + n HF
특징
  • 850℃까지 열적 내구성 보유
  • 고농도의 HF, SO2 의 존재시에도 촉매 성능 유지
  • HF 외 F화합물 부생성물 발생 최소화
  • 펠렛, Trilobe 형태로 성형 가능
적용분야
  • 반도체 공정
  • 디스플레이 공정

벌크 및 허니컴 형태 제품 규격

Purelyst® PFC-101 제품 명, 제거대상, 반응메커니즘, 특징, 적용분야에 관련된 표
제품명 Purelyst® PFC-101
형태 Pellet, Trilobe
충전밀도(g/cm3) 0.70 ± 0.10
압축강도(N)특징 > 30
BET(m2/g) > 150
충전밀도(g/cm3) 3 이하

성능평가 결과

Categories, Condition, Unit 에 관련된 표
Categories Condition Unit
Type of catalyst 11mm Tri-lobe -
GHSV 1,600 h-1
Linear velocity 0.044 m/sec
Voulme of catalyst 90 cm3
Reaction temperature 500 ~ 800 ℃
Total flow rate 2,400 cm3/min
Concentration of CF4 2,000 ppm
Concentration of O2 2 %
H2O/CF4 molar ratio 25 -
Categories, Condition, Unit 에 관련된 표
Categories Condition Unit
Type of catalyst 10~16 mesh Granular type -
GHSV 1,600 h-1
Voulme of catalyst 39.2 cm3
Reaction temperature 750 ℃
Total flow rate 1,176 cm3/min
Concentration of CF4 6,040 ppm
Concentration of O2 21 %
H2O/CF4 molar ratio 25 -

제품 사진

  • Pellet type
  • Tri-lobe type
  • Honeycomb briquette type
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