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제품

Puresorb® PFC-100

용도

Puresorb® PFC-100 제품명, 제거가스, 특징, 적용분야에 완련된 표
제품명 Puresorb® PFC-100
제거가스 NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, SF6 등 과불화화합물
특징
  • PFCs와 벌크반응하여 98% 이상 제거
  • 후단으로 불소화합물이 배출되지 않음
  • 열적으로 안정함
적용분야
  • 반도체, 디스플레이 공정 등

제품 규격

Puresorb® PFC-100 제품명, 제품 설명, 비표면적(m2/g), 크기 및 형태, 충전밀도(g/cm3), 색상, 함수율(wt. %)에 관련된 표
제품명 Puresorb® PFC-100
제품 설명 PFCs 흡착제
비표면적(m2/g) 40 이상
크기 및 형태 2mm Pellet, 3mm Pellet
충전밀도(g/cm3) 0.60 ± 0.05
색상 흰색, 옅은 회색
함수율(wt. %) 1 이하

운전조건

Puresorb® PFC-100 가스, 운전온도, 반응 메커니즘에 관련된 표
가스 운전온도(°C) 반응 메커니즘
CF4 > 550 2MO + CF4 ▶ 2MF2 + CO2
NF3 > 350 3MO + 2NF3 ▶ 3MF2 + aNO + bNO2 + cN2O
SF6 > 550 6MO + SF6 ▶ 6MF2 + 2SO2 + O2

시험성적서

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제품 사진

  • Puresorb® PFC-100
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