흡착제 시험장비 연구개발 > 연구개발장비 산성가스, 실란, 아세트알데히드, 암모니아 등 제거 실험 항목 내용 장비 유독가스 제거실험장비 가스 가스를 MFC로 제어 온도 RT~300°C 습도 증발기로 조정 검지관 CH3CHO, Cl2, HCl, NH3, SiH4 등 목록으로
