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SEM
연구개발 > 연구개발장비
주사전자현미경
항목 |
내용 |
---|---|
분석장비 |
EM-30N (코셈) |
배율 |
20배~150,000배 |
이미지 |
SEI (secondary electron image), BSEI (back scattered electron image) |
전압 |
1 kV~30 kV |
이온스퍼터코터 |
SPT-20 (코셈) |