TPD-MS 연구개발 > 연구개발장비 촉매 산강도분석 항목 내용 분석기 Prisma QMS 200 (Pfeiffer Vacuum) 터보펌프 TMU 071 P TPD 가스 NH3, PGMEA 측정범위 200 AMU 기타 Turnover number 계산TPO/TPR/TP-Reaction 가능 목록으로